Ну если вы имеете в виду неопределенность измерения размеров дефектов, то задача эта весьма интересная. Когда-то приходилось заниматься этим вопросом.
Нужно понимать, что когда вы напишите значение неопределенности, вы тем самым говорите что размеры дефекта с определенной вероятностью (обычно 95 %) находится в диапазоне измеренный размер ±неопределенность. Поэтому никаких округлений до определенного значения, которые требует стандарт, уже быть не может, мы же «точность» оцениваем. Также нужно оценить неопределенность измерения линейкой размеров дефектов. Для этого нужно определять масштаб и неопределенность определения этого масштаба (обычно по 11 или 12 эталону). Но нужно помнить, что в различных частях снимка может быть разный масштаб, геометрические увеличение никто не отменял. Поэтому, как минимум эталон нужно пположить как со стороны источника так и со стороны пластины и взять между ними средний масштаб. Неопределенность масштаба можно оценивать как средне арифметическое нескольких измерений такого масштаба. Плюс неопределенность масштаба по среднему между двумя эталонами (по прямоугольному распределению). Также учитываете неопределенность измерений (как средне квадратное отклонение) и стандартные дискретность и погрешность линейки. Также учитывается неопределенность эталона, из сертификата калибровки можно взять либо из ГОСТа, там есть допустимые отклонения.
После все это суммируются как сумма квадратов, корень и получаем суммарную неопределенность и расширенную считаете.
Вот такая грубо изложеная идея